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雙層潔凈無氧烘箱

產(chǎn)品詳情


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適用于半導(dǎo)體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤，硬烤，電鍍工藝，采用SUS304潔凈不銹鋼材質(zhì)，進(jìn)口超高效H.E.P.A過濾器，自動(dòng)開關(guān)風(fēng)門結(jié)構(gòu)，通過內(nèi)部不斷循環(huán)過濾，不斷過濾內(nèi)部partical快速形成無氧潔凈環(huán)境，機(jī)臺(tái)采用大功率三相靜音低震動(dòng)馬達(dá)，不銹鋼渦輪扇葉，獨(dú)特設(shè)計(jì)渦輪結(jié)構(gòu)，結(jié)合雙循環(huán)風(fēng)道，形成風(fēng)量均勻的循環(huán)熱風(fēng)，實(shí)現(xiàn)高潔凈，溫度均勻的無氧烘烤環(huán)境，確保烘烤物料受熱均勻，無氧化現(xiàn)象發(fā)生。

技術(shù)參數(shù)
設(shè)備型號(hào)FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
控溫范圍50~200℃(最高可訂制400℃）
溫度分辨率0.1℃
溫度波動(dòng)度±0.5℃
溫度均勻度±1.5%（200℃恒溫空載測(cè)試數(shù)據(jù)）
潔凈度class10/100/1000
過濾器效率H13~H14
內(nèi)部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
層架2PCS4PCS
電源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
定時(shí)范圍0~99H/M/S
送風(fēng)方式單向水平送風(fēng)
升溫時(shí)間RT~200℃約20min
控溫方式P.I.D
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)單門，控制柜位于頂部多倉(cāng)，控制柜位于側(cè)面
內(nèi)部材料SUS304#
外部材料鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼
安全保護(hù)措施1.接地保護(hù) 2.過載保護(hù)3. 相序保護(hù) 4.超溫保護(hù) 5. 獨(dú)立限溫保護(hù)
選配7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器（帶歷史曲線，USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能，配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm測(cè)試孔           電磁門禁系統(tǒng)，溫度校準(zhǔn)，非標(biāo)訂制服務(wù)。